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Die Analyse durch Röntgenfluoreszenz ist eine sehr häufig eingesetzte Methode
und findet Anwendung in der Bestimmung der chemischen Zusammensetzung von sehr vielen Substanzen.
Sie zeichnet sich dadurch aus, dass die Proben nicht zerstört werden.
Das Probematerial wird durch eine primäre Röntgenstrahlenquelle bestrahlt, wodurch es zu einer Anregung der Elemente in der Probe kommt.
Diese angeregten Elemente sind kurzlebig und es folgt eine Umorganisation der Elektronenhülle, was zu einer Emission von sekundärer Röntgenstrahlung, welche Fluoreszenzstrahlung genannt wird.
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